闄剁摲姘斿嚌鑳跺洜鍏惰秴杞匯€佽€愮伀銆佽€愯厫铓€銆佽€愰珮娓╃瓑鐗規€э紝闈炲父閫傚悎瑙ｅ喅鑸┖鑸ぉ棰嗗煙鐨勯殧鐑棶棰橈紝浣嗗叾鑴嗘€с€侀珮娓╂瀽鏅躲€佺儹闇囧潔緙╃瓑闂涓ラ噸鍒剁害浜嗙浉鍏崇爺絀跺拰搴旂敤銆傝繎鏃ワ紝鍝堝皵婊ㄥ伐涓氬ぇ瀛︺€佸叞宸炲ぇ瀛︺€佺編鍥藉姞宸炲ぇ瀛︽礇鏉夌煻鍒嗘牎銆佸姞宸炲ぇ瀛︿集鍏嬪埄鍒嗘牎絳夐珮鏍＄爺絀朵漢鍛橈紝鍏卞悓鐮旂┒鍚堟垚浜嗙背灞傜姸緇撴瀯鐨勫弻鏇茬嚎緇撴瀯闄剁摲姘斿嚌鑳訛紝閫氳繃緇撴瀯璁捐瀹炵幇浜嗏€滆礋鐗規€р€濈殑瓚呮潗鏂欙紝璇ユ潗鏂欏彲浠ユ瀬澶у寮轟紶緇熼櫠鐡鋒皵鍑濊兌鏉愭枡鐨勫悇欏規€ц兘錛岀敋鑷寵祴浜堝叾鏂扮殑鐗規€с€傜浉鍏崇爺絀剁粨鏋滆繎鏃ュ彂琛ㄤ簬銆婄瀛︺€嬫潅蹇椼€?/span>
璇ョ爺絀舵垚鏋滃熀浜?騫寸殑鐭沖ⅷ鐑皵鍑濊兌鍩虹鐮旂┒錛屽茍鍘嗘椂2騫村畬鎴愩€傝璁烘枃絎竴浣滆€呫€佸搱灝旀花宸ヤ笟澶у鍦熸湪宸ョ▼瀛﹂櫌鍓暀鎺堝緪緲斿悜銆婁腑鍥界瀛︽姤銆嬩粙緇嶏紝鍓嶆湡鐨勫熀紜€鐮旂┒瀹屾垚浜嗙煶澧ㄧ儻姘斿嚌鑳剁殑瓚呭脊鎬с€佽礋娉婃澗姣斻€佽秴杞匯€佸鐢點€佹祦浣撹涓恒€佽€楄兘琛屼負絳夌爺絀躲€?/span>
璐熸硦鏉炬瘮鏁堝簲錛屾槸鎸囧彈鎷変幾鏃訛紝鏉愭枡鍦ㄥ脊鎬ц寖鍥村唴妯悜鍙戠敓鑶ㄨ儉錛岃€屽彈鍘嬬緝鏃訛紝鏉愭枡鐨勬í鍚戝弽鑰屽彂鐢熸敹緙┿€傝繖縐嶇幇璞″湪鐑姏瀛︿笂鏄彲鑳界殑錛屼絾閫氬父鏉愭枡涓茍娌℃湁鏅亶瑙傚療鍒拌礋娉婃澗姣旀晥搴旂殑瀛樺湪銆?/span>
浜庢槸錛岀爺絀跺洟闃熷湪璐熸硦鏉炬瘮澧炲己鐭沖ⅷ鐑皵鍑濊兌鍙樺艦鐗規€х殑鐮旂┒鍩虹涓婏紝閲囩敤鍦ㄧ煶澧ㄧ儻姘斿嚌鑳舵ā鏉垮師浣嶆矇縐櫠鐡風殑CVD鎶€鏈紝騫墮€氳繃鍔犵儹鍒昏殌妯℃澘鐨勬柟娉曪紝浣垮緱鍒跺鎵€寰楃殑闄剁摲姘斿嚌鑳朵笉浣嗚幏寰椾簡璐熸硦鏉炬瘮鐗規€э紝騫墮€氳繃瀛斿鐨勨€滃弻澹佲€濅簹緇撴瀯錛屽悓鏃跺疄鐜頒簡闄剁摲姘斿嚌鑳剁殑璐熺儹鑶ㄨ儉鐗規€э紝浠庤€屾瀬澶у寮轟簡闄剁摲姘斿嚌鑳剁殑鍔涘鍙婄儹瀛︾瓑鎬ц兘銆?/span>
鎹簡瑙ｏ紝涓庤仛鍚堢墿鍜岀幆姘ф爲鑴備笉鍚岋紝闄剁摲鏉愭枡涓嶆槗鐔斿寲銆佸垎瑙ｆ垨杞寲錛涗笌璇稿鏈夋満鐗╃殑鍏朵粬鐗╄川鐩告瘮錛屽叾鍖栧閿笉鍥犵儹鍜岀傳澶栬緪灝勮€屾柇瑁傦紝涓斿叿鏈夎壇濂界殑瀵肩儹鎬с€傛澶栵紝闄剁摲涓嶄細鍦ㄦ繁灞傜┖闂寸殑鏋佺鐪熺┖涓帓鍑烘皵浣擄紝鍏鋒湁浼樿壇鐨勭數姘旈殧紱葷壒鎬э紝鍗充嬌鍦ㄩ暱涔呴珮娓╀笅涔熸湁闀垮鍛斤紝鏄紭璐ㄧ殑鑸┖鑸ぉ鏉愭枡涔嬮€夈€?/span>
寰愮繑琛ㄧず錛岀爺絀惰繃紼嬪茍闈炰竴甯嗛欏猴紝鐮旂┒浜哄憳紿佺牬浜嗚澶氬洶闅俱€傞櫠鐡鋒皵鍑濊兌CVD鐨勫埗澶囨槸鐮旂┒鐨勫叧閿紝涓鴻祴浜堥櫠鐡鋒皵鍑濊兌鏌旈煣鎬э紝鎺у埗瀛斿澹佸帤錛屾彁楂橀櫠鐡鋒皵鍑濊兌緇撴櫠鎬э紝騫跺疄鐜扮粨鏋勮璁★紝鐮旂┒浜哄憳鍘嗙粡浜嗚繎鍗冩鐨勫弽澶嶅疄楠屻€傛澶栵紝闄剁摲姘斿嚌鑳跺叿鏈夌殑瓚呰交鐗規€э紝浣垮緱鍟嗙敤嫻嬮噺緋葷粺鏃犳硶嫻嬭瘯鍏跺鐑郴鏁般€備負姝わ紝鐮旂┒鍥㈤槦鎼緩浜嗕笓闂ㄧ殑嫻嬮噺璁懼錛屽茍榪涜浜嗗彲闈犳€ц璇佸伐浣溿€?/span>
璇ヨ鏂囬€氳浣滆€呫€佸姞宸炲ぇ瀛︽礇鏉夌煻鍒嗘牎鍖栧緋繪暀鎺堟闀墮攱鍛婅瘔銆婁腑鍥界瀛︽姤銆嬶紝璇ラ櫠鐡鋒皵鍑濊兌涓鴻В鍐抽櫠鐡瘋秴杞葷粨鏋勭殑鑴嗘€ч棶棰橈紝浠ュ強鍙楃儹鏋愭櫠闂鎻愪緵浜嗙爺絀舵€濊礬錛屾瀬澶у湴淇冭繘浜嗛櫠鐡鋒皵鍑濊兌鍦ㄩ殧鐑€佸偓鍖栥€佽兘婧愩€佺幆澧冩不鐞嗐€佽埅絀鴻埅澶╃瓑棰嗗煙鐨勫簲鐢ㄣ€?/span>
孌甸暥閿嬭〃紺猴紝璇ラ」鐮旂┒浠呬粎鏄竴涓紑濮嬶紝涓嬩竴姝ョ爺絀跺洟闃熷皢緇х畫鐮斿埗鏇存煍闊э紝鑳介€傚簲鏇撮珮宸ヤ綔娓╁害錛屽叿鏈夋洿浣庡鐑郴鏁扮殑闄剁摲姘斿嚌鑳惰秴杞葷粨鏋勶紝榪涗竴姝ヤ績榪涢櫠鐡鋒皵鍑濊兌鍦ㄥ棰嗗煙鐨勫箍娉涘簲鐢ㄣ€?/span>
鎽樿嚜縐戝緗戯細http://paper.sciencenet.cn/htmlpaper/2019/2/201921916385910949264.shtm?id=49264
